【韓国】サムスン、５ナノ半導体の量産技術を確立［ＩＴ］（2019/04/17）

韓国のサムスン電子は16日、回路線幅５ナノ（ナノは10億分の1）メートルのシステムＬＳＩ（大規模集積回路）の量産技術を確立したと発表した。５ナノ品の製造工程の開発はファウンドリー（半導体受託生産会社）として台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）に次ぐ２社目となる。量産開始時期は未定。

今年量産を開始した７ナノ品に比べて、面積が25％縮小し、消費電力も10％減る。最先端の製造技術「ＥＵＶ（極紫外線）露光」を採用した。ＥＵＶは回路の形成工程を大幅に効率化でき、７ナノ未満の商用化は難しいとされた微細化を可能にする革新技術だ。

サムスン電子は、ＥＵＶを使った７ナノ品を今月にも出荷する計画。６ナノ品も年内の量産を予定している。微細化を通じ、自動運転や人工知能（ＡＩ）など技術革新に対応できる製品を市場に供給する。