【韓国】サムスンのＤＲＡＭ量産、ＥＵＶを初導入［ＩＴ］（2020/03/26）

サムスン電子は25日、業界で初めて、最先端の極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置を用いたＤＲＡＭの量産体制を構築したと発表した。次世代のＤＲＡＭ製品からは、ＥＵＶを使った製造工程を全面的に導入する考え。

同社はこのほど、回路線幅が10ナノ（ナノは10億分の１）メートル台の第１世代（１ｘ）工程で、ＥＵＶ工程を適用して製造したＤＤＲ４型のＤＲＡＭモジュール品100万個以上を顧客に供給したという。

韓国メディアによると、同社は昨年９月に10ナノ級の第３世代（１ｚ）工程でＤＲＡＭの量産を開始した後、微細化の限界にぶつかり、ＥＵＶの導入を急いでいたという。

現在は、第４世代（１ａ）工程へのＥＵＶの導入を進めており、量産に成功すれば12インチウエハー当たりの生産性は１世代の２倍になるという。

サムスン電子がＥＵＶ露光装置を用いて製造した第１世代10ナノ級ＤＤＲ４　ＤＲＡＭ製品＝韓国（サムスン電子提供）